真空電動位移臺電控平移臺精密電動移動平臺
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產品型號 | PZ110-30 | PZ110-50 | PZ110-75 | ||
結 構 描 述 | 行程 | 30mm | 50 mm | 75 mm | |
臺面尺寸 | 90×90mm | 90×110mm | 90×110mm | ||
螺桿規格 | 研磨絲桿（導程1 mm） | ||||
導軌 | 精密交叉滾柱導軌 | ||||
真空電機 | |||||
主體材料 | 鋁合金 | ||||
表面處理 | |||||
臺面承載 | 15kg | 20 kg | |||
重量 | 1.25kg | 1.4kg | 1.7kg | ||
精 度 描 述 | 分辨率 | 5μ（無細分） 0.25μ（20細分） | |||
速度 | 10mm/sec | ||||
重復定位精度 | 5μ | ||||
定位精度（選配光柵） | 10μ | ||||
直線度 | 8μ | 12μ | |||
運動平行度 | 15μ | ||||
俯仰 | 25″ | ||||
偏擺 | 20″ | ||||
回程間隙 | 2μ | ||||
丟步 | 2μ | ||||
附 件 描 述 | 可加裝限位開關和光耦開關 | ||||
可加裝光柵尺(G) | |||||
可換裝伺服電機(D) | |||||
PZ110-30
PZ110-50
PZ110-75
真空電動位移臺電控平移臺精密電動移動平臺
