真空電動位移臺電控平移臺精密電動滑臺
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10. 高潔凈度的使用環境也是可以選用的。特別的材料選擇，完善的后端處理工藝使其在高潔凈度的環境中使用。
產 品 型 號 | PT-GD140G-50 | PT-GD140G-100 | PT-GD140G-150 | PT-GD140G-200 | PT-GD140G-300 | PT-GD140G-400 | PT-GD140G-500 | ||||
結 構 參 數 | 行程 | 50 mm | 100 mm | 150 mm | 200 mm | 300 mm | 400 mm | 500 mm | |||
臺面尺寸 | 120×120mm | 120×120mm | 120×120mm | 120×120mm | 120×120mm | 120×120mm | 120×120mm | ||||
螺桿規格 | 精密滾珠螺桿（導程4 mm） | 滾珠螺桿（導程5 mm） | |||||||||
導軌 | 精密線性滑塊導軌 | ||||||||||
真空電機 | |||||||||||
主體材料 | 鋁合金 | ||||||||||
表面處理 | 陽極氧化發黑 | ||||||||||
臺面中心負載 | 30 kg | 50 kg | |||||||||
平臺自重 | 2.8kg | 3.4kg | 4.5kg | 5.2kg | 6.3kg | 7.2kg | 8.3kg | ||||
精 度 參 數 | 8細分分辨率 | 2.5μm | 3.125μm | ||||||||
速度 | 20mm/sec | 40mm/sec | 50mm/sec | ||||||||
重復定位精度 | 5μm | ||||||||||
定位精度（選配光柵） | 8μm | ||||||||||
直線度 | 5μm | 6μm | 8μm | ||||||||
運動平行度 | 10μm | 15μm | 20μm | ||||||||
俯仰 | 25″ | 50″ | 60″ | ||||||||
偏擺 | 20″ | 25″ | 30″ | ||||||||
回程間隙 | 2μm | ||||||||||
丟步運動 | 3μm | 5μm | |||||||||
附件描述 | 可加裝失電制動功能(Z) | ||||||||||
可加裝光柵尺(G) | |||||||||||
可換裝伺服電機(D) | |||||||||||
可加裝防塵罩(F) | |||||||||||
真空電動位移臺電控平移臺精密電動滑臺
